产品用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面精密研磨及抛光。
具体参数
磨盘规格:900mm
陶瓷盘直径:360mm
主电机功率:7.5KW/380V
压盘电机功率:0.4KW/380x4
修整电机功率:0.2KW/380V
主电机功率:060RPM(MAX)
设备工位数:4个
设备规格:1200x2200x2500mm
设备重量:2300KG
深圳市帝研科技有限公司
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1、本设备为单面精精密研磨设备,采用*的机械,结构和多种*控制方面,研磨加工效率高,运行稳定。
2、整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置,和操作简单方便,系统运行稳定性高。
主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤。
工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证*的施压精度与稳定性。
3、上压盘采用主驱动方式(选配)在
产品用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面精密研磨及抛光。
具体参数
磨盘规格:900mm
陶瓷盘直径:360mm
主电机功率:7.5KW/380V
压盘电机功率:0.4KW/380x4
修整电机功率:0.2KW/380V
主电机功率:060RPM(MAX)
设备工位数:4个
设备规格:1200x2200x2500mm
设备重量:2300KG
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