| 序号 | 配件名称 | 规格品牌 |
| 1 | X、Y、Z三轴滚珠丝杆 | 中国台湾银泰或上银C级PMI |
| 2 | X、Y、Z三轴轴承 | NSKP4级 |
| 3 | X、Y、Z三轴线轨 | 德国力士乐P级 |
| 4 | 伺服马达 | 日本松下 |
| 5 | 注油器 | 台制容积式 |
| 6 | 连接器 | 德国R+W |
| 7 | 控制器 | TZ镜面系统 |
| 检验项目 | 测定方法 | 容许差值 | 测量结果（全行程） | |
| 测定工作台面运动台时与主轴之间平行度 | X轴向 | 将仟分表固定于主轴上，量出工作台面于行程内两端之平行度的值 | ≦0.018/400mm | |
| Y轴向 | ≦0.015/300mm | |||
| 测定X轴向与Y轴缶运动时之直角度 | 将仟分表固定于主轴上，使工作台面上的直角块规在X轴向之运动值归零，再以此不动直角规为准，测出Y轴向运动时两端大差值 | ≦0.01/300mm | ||
| 测定机头上升下降时与工作台面之直角度 | X轴向 | 将仟分表固定于主轴上，直角块规立置于工作台面，在机头不移动的情形下，使主轴上升下降量出行程内最上端于最下端大差值 | ≦0.02/300mm | |
| Y轴向 | ≦0.02/300mm | |||
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