衍射相位光栅-深圳维尔克斯光电有限公司

石英材质衍射相位光栅，线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm

光学相位光栅通过光刻技术制造，有很多种分类，应用也相当广泛，主要应用的还是用于衍射分光和脉冲压缩。维尔克斯光电生产的本款光栅为相位光栅，即利用光的干涉来分光的衍射光栅，分为反射型或投射性，入射面为平面，线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm

位相光栅规格型号表：（光栅的销售方式一般为定制，起订量10片，更多详情，请联系我们。）

产品型号	周期	线宽	线对数	光栅方向	外形尺寸	厚度	材质	设计中心波长	位相深度
MGGP-001	50.0μm	25.0μm	20	平行于边	10×10	1	石英	0.65μm	0.712μm
MGGP-002	50.0μm	25.0μm	20	平行于边	20×20	1	石英	0.65μm	0.712μm
MGGP-003	50.0μm	25.0μm	20	平行于边	10×10	1	石英	0.808μm	0.891μm
MGGP-004	50.0μm	25.0μm	20	平行于边	20×20	1	石英	0.808μm	0.891μm
MGGP-005	25.0μm	12.5μm	40	平行于边	10×10	1	石英	0.98μm	1.087μm
MGGP-006	10.0μm	5.0μm	100	平行于边	10×10	1	石英	0.98μm	1.087μm
MGGP-007	100.0μm	50.0μm	10	平行于边	10×10	1	石英	0.65μm	0.712μm
MGGP-008	100.0μm	50.0μm	10	平行于边	20×20	1	石英	0.65μm	0.712μm

衍射光栅的种类很多，分为振幅光栅和相位光栅，还可分为反射光栅和透射光栅，平面光栅和凹面光栅等。此文讲述的光学光栅是反射/透射型，锯齿型/台阶型相位光栅，具有精度高，应用广以及可定制等特点。

位相光栅，英文名Phase Grating，是一种利用光的干涉来分光的光学元件，当光波通过光栅后，振幅并没有变化，但是相位有周期性的变化，从而改变光栅的衍射。其中，透射光栅是相位光栅中的一个分类，通常用于激光束分离和可见光多波长激光光谱分离，而且透射光束会衍射成多个不同级次。衍射相位光栅主要是分光，是通过透射或反射光的相位差实现调制和分离的，线宽精度和深度精度分别是±0.2um和≤20nm，通过光刻技术制作，主要应用于衍射分光和脉冲压缩等应用。维尔克斯光电的高精度光栅是一个非常不错的选择，如图1，有锯齿型和台阶型的光栅供用户选择，而且还可根据用户的应用需求定制合适的精密光栅。