特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
• 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
• 流量范围宽 - 从3 sccm 一直到3000 slm
• 耐高压等级 - 高达 10MPA
• 可拆卸式流量传感器
• 不受安装角度影响
• 能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
• 电驱动阀超调
• 耐化学腐蚀阀门

耐用

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

耐腐

☆主体采用不锈钢（304或316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

稳定

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

安装便捷

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

精确计量

☆配合流量显示仪，可对气体的瞬时流量进行精确计量控制。