低温等离子废气净化器作用还具备显著的生物效应。发作的静电作用在各种细菌、病毒等微生物外表产生的电能剪切力大于细胞膜外表张力，使细胞膜遭到毁坏，招致微生物死亡。因而低温等离子体除臭技术具有的消毒杀菌之成效。

低温等离子废气净化器在废气处置工程中的应用较为普遍。

气体搜集系统—预处置喷淋洗濯系统—低温等离子净化系统—深度气体吸附催化系统—排放系统—控制系统气体搜集系统主要是将构筑物自在挥发的气体搜集起来并保送到后续处置系统。详细包括气罩系统、管道保送系统微风机。

低温等离子废气净化器内部装有的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气搜集系统搜集的多元素气体经过等离子活性氧净化安装，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子停止电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所搜集并流入和堆积到气体处置安装的储尘箱内，气体内的有害气体被电场内所产生的臭氧所杀菌，并去除了异味，有害气体被除掉,到达废气处置的目的。

低温等离子废气净化器其净化作用机理包含两个方面：一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的霎时足够翻开一些有害气体分子的化学能，使之合成为单质原子或无害分子；二是等离子体中包含大量的电子、正负离子、激起态粒子和具有强氧化性的自在基，这些活性粒子和局部臭气分子碰撞分离，在电场作用下，使臭气分子处于激起态。当臭气分子取得的能量大于其分子键能的分离能时，臭气分子的化学键断裂，直接合成成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量•OH、•HO2、•O等活性自在基和氧化性的O3，与有害气体分子发作化学反响，终生成无害产物。

等离子体中的电子可使电负性高的气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子，它具有许多良好的安康效应，对人体及其他生物的生命活动有着非常重要的影响，被人们誉为“空气维生素"、“短命素"。