真空除氧器是一种使水在真空下低温沸腾，脱除水中含有的氧气、氮气、二氧化碳等气体的设备，由除氧水箱（除氧塔）和真空机组两大部分组成，除氧水箱可以高位或低位布置，真空泵机组可采用以蒸汽作动力的蒸汽喷射泵，或以循环水为工作介质的水喷射泵。

在锅炉给水处理工艺过程中，除氧是一个非常关键的一个环节。氧是给水系统和锅炉的主要腐蚀性物质，给水中的氧应当迅速得到清除，否则它会腐蚀锅炉的给水系统和部件，腐蚀产物氧化铁会进入锅内，沉积或附着在锅炉管壁和受热面上，形成难溶而传热不良的铁垢，而且腐蚀会造成管道内壁出现点坑，阻力系数增大。管道腐蚀严重时，甚至会发生管道爆炸事故。规定蒸发量大于等于2吨每小时的蒸汽锅炉和水温大于等于95℃的热水锅炉都必需除氧。多年来众多锅炉给水处理工作者一直都在探求既高效又经济的除氧方法，而真空除氧法就是其中一种。

真空除氧的工作原理是应用亨利定律和道尔顿定律，根据亨利定律可知 ,在封闭容器中，任何气体同时存在于水面上 ,则气体的溶解度与其自己的分压力成正比 ,而且气体的溶解度仅与其本身的分压力有关。在一定压力下 ,随着水温升高 ,水蒸汽的分压力增大 ,而空气和氧气的分压力越来越小。在 100℃时 ,氧气的分压力降低到零 ,水中的溶解氧也降低到零。当水面上压力小于大气压力时 ,氧气的溶解度在较低水温时也可达到零。这样，水面上空间氧气分子被排出 ,或转变成其它气体 ,从而氧的分压力为零 ,水中氧气就不断地逸出，达到除氧的效果。

这种除氧方法一般在 30℃～ 60℃温度下进行。可实现水面低温状态下除氧 (在 60℃或常温 ) ,对热力锅炉和负荷波动大而热力除氧效果不佳的蒸汽锅炉 ,均可用真空除氧而获得满意的除氧效果。相对于热力除氧技术来说：它的加热条件要求很低 ,锅炉房自耗汽量减少 ,并且真空除氧器可低位布置 ,对运行管理喷射泵、加压泵等关键设备的要求比热力除氧更高。低位布置也需要一定的高度差 ,而且对喷射泵、加压泵等关键设备的运行管理要求也很高。