主要特点
我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
1.与传统CVD系统比较，生长温度更低。
2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。
3.设备的技术使得整管辉光均匀等效，均匀生长。
技术参数
| 三温区滑轨炉 BTF-1200C-III- SL  | 炉管尺寸 | 外径Φ100*2330mm（可选） |
| 极限温度 | 1200℃ | |
| 工作温度 | ≤1100 ℃ | |
| 温度控制器 | PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器 | |
| Z快升温速率 | ≤20℃/min | |
| 加热区 | 300+300+300mm | |
| 恒温区 | 150+200+150mm | |
| 控温精度 | ±1 ℃ | |
| 电源 | 单相220V，交流50Hz | |
| 4路质量流量供气系统  | Z大电压 | 185~245V/50Hz |
| Z大输出功率 | 18W | |
| 流量计标准量程 | 100，200,200，500SCCM；（非特殊以氮气标定，量程可选定 | |
| 工作温度 | 5~45 ºC | |
| 工作压差 | 0.1～0.5 MPa | |
| Z大压力 | 3MPa | |
| 准确度 | ±1.5% FS | |
| 测量范围 | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） | |
| 针阀 | 316不锈钢 | |
| 混气罐 | Φ80×120mm | |
| 截止阀 | Φ6mm"316不锈钢针阀 | |
| 尺寸 | 600*600*650mm | |
| 低真空系统  | 空气相对湿度 | ≤85% |
| 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ | |
| 功率 | 500W | |
| 抽气速率 | 10m³/h | |
| 极限真空 | 4X10-2Pa | |
| 实验真空度 | 1.0X10-1Pa | |
| 容油量 | 1.1L | |
| 进气/排气口径 | KF25 | |
| 噪音 | 50dB | |
| 外形尺寸 | 600×600×600mm | |
| 射频电源 | 信号频率 | 13.56MHz±-0.005% |
| 射频功率输出范围 | 5W-500W | |
| Z大反射功率 | 200W | |
| 射频输出接口 | 50Ω。N-type,female | |
| 功率稳定度 | ±0.1% | |
| 谐波分量 | ≤-50dbc | |
| 供电电压 | 单相50/60Hz 220v±10% | |
| 整机效率 | >=70% | |
| 功率因素 | >=90% | |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
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