重庆汗丁直销olympus奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜产品概观特征:
获得比我们之前型号快四倍的可靠数据。 1.**成像:捕捉任何表面的形状。
2.快:
3.易于操作:只需放置样品,然后按“开始"按钮。
4.较大样品的工作距离更长:测量高达210 mm的样品。
出色的横向分辨率
| 405 nm紫外激光和专用高NA物镜可以捕捉传统光学显微镜,白光干涉仪或红色激光显微镜无法检测到的精细图案和缺陷。 | |
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红色(658 nm:0.26μm线和空间) | 紫罗兰型(405 nm:0.12μm线和空间) |
PEAK算法

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VLSI标准80纳米高度样品(MPLFLN10XLEXT):OLS5000显微镜采用PEAK算法进行3D数据构建。该算法可提供从高放大倍率到高放大倍率的高精度数据,并缩短数据采集时间。
The simple analysis function measures the step, line width, surface roughness, area, and volume only in the specified measurement areas. The causes of variance in the measurement results, such as the edge position and the threshold of the reference planes in volume analysis, are automatically detected so that the measurement results are stable and not affected by the operator’s skill level.
Measurement of the step height difference and distance between two specified regions.
Measurement of the difference in angle between two specified regions.
Measurement of the area/volume in the specified region; the reference planes are detected automatically, so no threshold setting is necessary.
Measurement of the surface roughness in the specified region.
Measurement of the width by automatically detecting edges in the specified region.
Measurement of R and the height from the reference plane based on the automatic recognition of a circular shape in the specified region.
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜产品应用:
汽车/金属加工
内部纹理/面积粗糙度测量(MPLAPON20XLEXT / 3 x 3缝合)
喷油嘴(复制品)/面积粗糙度测量(LMPLFLN50XLEXT)
活塞环/面积粗糙度测量(MPLAPON50XLEXT)
轴承球/型材测量(MPLAPO50XLEXT)
物料
不锈钢腐蚀/高度测量(MPLAPON20XLEXT / 3 x 3缝合)
铜板/面积粗糙度测量(MPLAPON50XLEXT)
扩散板/轮廓测量(MPLAPON50XLEXT / 3 x 3缝合)
海绵/轮廓测量(MPLAPON20XLEXT / 3 x 3缝合)
电子元器件
Ni凸点/高度测量(MPLAPON20XLEXT)
MEMS(MPLAPON50XLEXT)
光刻胶/高度测量(MPLAPON100XLEXT)
粘接线(MPLAPON100XLEXT)
其他
微针/轮廓测量(MPLAPON50XLEXT / 6 x 6缝合)
皮肤(复制品)/面积粗糙度测量(MPLAPON20XLEXT / 5 x 5缝合)
由Bunka Gakuen University时装科学学院功能设计实验室提供
磨石/轮廓测量(MPLAPON20XLEXT)
圆珠笔验收座/面积粗糙度测量(LMPLFLN20XLEXT)
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜产品主要规格:
模型 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000电弧炉 | OLS5000-EMF | |
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总放大倍数 | 54x - 17,280x | |||||
视野 | 16um - 5,120um | |||||
测量原理 | 光学系统 | 反射型共焦激光扫描激光显微镜 反射型共焦激光扫描激光-DIC显微镜 Color Color-DIC | ||||
光接收元件 | 激光:光电倍增管(2ch) 颜色:CMOS彩色摄像机 | |||||
高度测量 | 显示分辨率 | 为0.5nm | ||||
动态范围 | 16位 | |||||
重复性σn -1 * 1 * 2 * 6 | 20x:0.03μm,50x:0.012μm,100x:0.012μm | |||||
准确度* 1 * 3 * 6 | 0.15 + L /100μm(L:测量长度[mm]) | |||||
拼接图像的准确度* 1 * 4 * 6 | 20x:15 +0.5Lμm,50x:9 +0.5Lμm,100x:7 +0.5Lμm(L:拼接长度[μm]) | |||||
测量噪声(Sq噪声)* 1 * 5 * 6 | 1纳米 | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1纳米 | ||||
重复性3σn -1 * 1 * 6 | 20x:0.05μm,50x:0.04μm,100x:0.02μm | |||||
准确度* 1 * 3 * 6 | 测量值+/- 1.5% | |||||
拼接图像的准确度* 1 * 3 * 6 | 20x:15 +0.5Lμm,50x:9 +0.5Lμm,100x:7 +0.5Lμm(L:拼接长度[ mm ]) | |||||
单次测量中的*大测量点数 | 4096 x 4096像素 | |||||
*大测量点数 | 36万像素 | |||||
XY平台配置 | 长度测量模块 | • | NA | NA | • | NA |
工作范围 | 100 x 100mm电动 | 100 x 100mm手动 | 300 x 300 mm电动 | 100 x 100mm电动 | 100 x 100mm手动 | |
*大样本高度 | 100毫米 | 30毫米 | 37毫米 | 210毫米 | 140毫米 | |
激光光源 | 波长 | 405纳米 | ||||
*大输出 | 0.95 mW | |||||
激光课 | 2级(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014) | |||||
彩色光源 | 白色LED | |||||
电源 | 240瓦 | 240瓦 | 278瓦 | 240瓦 | 240瓦 | |
块 | 显微镜体 | 约。31公斤 | 约。32公斤 | 约。50公斤 | 约。43公斤 | 约。44公斤 |
控制箱 | 约。12公斤 |
* 1在ISO554(1976),JIS Z-8703(1983)中规定的恒温恒温环境(温度:20℃±1℃,湿度:50%±1%)下使用时保证。
* 2用MPLAPON LEXT系列目标测量时。
* 3使用专用LEXT物镜测量时。
* 4使用20X或更高的专用LEXT物镜进行测量时。
* 5使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
* 6奥林巴斯证书系统保证。
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜产品客观参数:
系列 模型 数值孔径(NA) 工作距离(WD)(mm) UIS2物镜 MPLFLN2.5x 0.08 10.7 MPLFLN5x 0.15 20 LEXT专用物镜(10X) MPLFLN10xLEXT 0.3 10.4 LEXT专用物镜(高性能型) MPLAPON20xLEXT 0.6 1 MPLAPON50xLEXT 0.95 0.35 MPLAPON100xLEXT 0.95 0.35 LEXT专用物镜(长工作距离型) LMPLFLN20xLEXT 0.45 6.5 LMPLFLN50xLEXT 0.6 五 LMPLFLN100xLEXT 0.8 3.4 超长工作距离镜头 SLMPLN20x 0.25 25 SLMPLN50x 0.35 18 SLMPLN100x 0.6 7.6 LCD镜头的工作距离长 LCPLFLN20xLCD 0.45 8.3-7.4 LCPLFLN50xLCD 0.7 3.0-2.2 LCPLFLN100xLCD 0.85 1.2-0.9
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