Cygnus 2 薄膜沉积控制器

为 OLED 应用提供Z佳测量精度

Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多的功能，可帮助您实现 OLED 过程的Z大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器的性能、品质和功能，赋予您的过程的可重复性。

功能

INFICON ModeLock 技术确保获得Z高、Z稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制Z多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
10 Hz 测量
100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
多个源厚度合计功能
测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积Z多 30 秒）
速率显示分辨率可达0.001Å
4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
可选以太网通信
符合 RoHS 标准

规格

类型		Cygnus 2
测量性能
频率分辨率		±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1)		±0.00433 Å
测量频率范围		6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)		0.5%
测量周期		0.10 s
多个测量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能
多传感器测量		yes (up to 6 sensors)
Auto Z		yes
共沉积		yes (up to 6 sensors)
过程配方和数据管理
材料计划		6 independent materials
USB 存储器		yes
数据记录		yes
硬件功能
传感器 (3)
单		6
带 CrystalTwo® 的双		6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input)
CrystalSix®		6
Crystal 12®		6
通用		6
来源控制
来源数量 (4)		up to 6
来源控制电压		0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率		15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置		64
输入 / 输出
输入		14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出		8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4)		0 to +10 V, adjustable
逻辑语句		100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信
标准		RS232
可选		Ethernet
显示器
厚度分辨率		1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ
速率分辨率		0.001 for 0 to 9.999 Å/s 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s
操作
电源要求		100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作温度		0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深）		5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm)
重量		13 lbs (5.9 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹

(2) 随过程变化；数值表示典型的精度

(3) 每种类型的Z大配置

(4) Cygnus 2 有 6 个 DAC 输出标准，还可选择再添加 6 个。可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为 6

零件号

附件

名称	说明
前装式单传感器	前装式单传感器
前装式双传感器	前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器	炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器	炫酷抽屉双传感器
ALD 探头	ALD 探头
UHV 可烘烤传感器	UHV 可烘烤传感器
溅射传感器	溅射传感器
CrystalSix 传感器	CrystalSix 传感器
Crystal 12 传感器	Crystal 12 传感器
RSH-600 旋转式传感器	RSH-600 旋转式传感器

零件号	明细
755-262-G1	Handheld Power Controller
779-220-G1	CrystalTwo 开关，15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2	CrystalTwo 开关，50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits	（包括振荡器和电缆）

781-611-G15	带 4.6 米（15 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G30	带 9.1 米（30 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G50	带 15.2 米（50 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G100	带 30.5 米（100 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G15	带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G30	带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G50	带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G100	带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G15	带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G30	带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G50	带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G100	带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
Oscillator Only	（未随附电缆）
781-600-G1	XIU（振荡器）- 用于长度为 15 至 183 厘米（6 至 72 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-600-G2	XIU（振荡器）- 用于长度为 3 至 4 米（118 至 157 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
Cables
755-257-G6	15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，XIU 至真空馈入件
600-1261-P15	4.6 米（15 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30	9.1 米（30 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50	15.2 米（50 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100	30.5 米（100 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU