技术应用链接:
特点：
· 用于不同材料表面的处理
· 手动模式
· 经济型等离子清洗机，小型腔体
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
规格：
型号 | ZEPTO ONE | |
控制系统 | 手动控制 | |
工艺气路 | 单路气体 | |
工艺气体 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | |
流量计 | 针阀流量计 | |
单体导入 | H2O等单体（选配） | |
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃，盖子门带观察窗（石英选配） |
内尺寸(Dia.×D) | 105mm×200mm | |
容积 | 1.7L | |
电极 | 360度外置环绕电极 | |
发生器* | 100KHz 0~30W 13.56MHz 0~30W | |
托盘 | 高硼硅玻璃，（石英选配） | |
外形尺寸（WXDxH）mm | 269x324x176 | |
电源 | AC220V 50Hz 10A | |
真空泵 | 排气速度4m3/H | |
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关键词:
Diener
等离子清洗机
ZEPTO ONE
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