技术应用链接:
特点：
· 便捷的触摸屏操作界面
· 数字及图标多重工艺参数实时显示方式
· 异常报警功能
· 自动/手动操作模式可切换
· 储存多套工艺程序
· 远程操控，数据导出
· 模块多样化选择，处理量大
技术规格：
型号 | Tetra 45 | ||
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
BASIC PC | FULL PC | ||
操作系统 | Windows CE | Windows 10 | |
触摸屏 | 3.5/7" | 15" | |
工艺气体 | O2 Ar N2 Air SF6 CF4等 | ||
工艺气路 | 1-3（可选） | 1-10（可选） | |
流量计 | MFC /防腐型MFC | ||
真空 腔体 | 材质 | 不锈钢/铝合金 | |
尺寸WDH（mm) | 572x650(1500) *1x120 | ||
容积(L) | 45~100L | ||
电极 | 材质 | 铝/不锈钢电极 | |
层数 | 1层 | ||
发生器
| 40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W | ||
真空压力计（mba) | 皮拉尼传感器（0-9.99) | ||
托盘 | 不锈钢/铝 | 实心板/镂空板 | |
层数 | 1-2（可选） | ||
外形尺寸WDH（mm) | 600x850（1600）x1700(2100) | ||
电源 | AC400 V / 16 A | ||
真空泵抽气速度 | 根据工艺选择 | ||
选配件 | 单体导入模块（亲疏水涂层）、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、石英舟、干泵 | ||
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