Tetra 575 LF-PC | 特殊设备
开关柜: 宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm
腔室: 宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm
腔室容积: 约575 升
气体供给: 2 个通过 MFC 控制的气体通道
发生器: 1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
部件支架: 22 层/(个)产品支架(可变)
控制系统: PC 控制系统 (Windows)
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Tetra 575 LF-PC | 特殊设备
开关柜: 宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm
腔室: 宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm
腔室容积: 约575 升
气体供给: 2 个通过 MFC 控制的气体通道
发生器: 1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
部件支架: 22 层/(个)产品支架(可变)
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