Tetra 120 LF-PC | 特殊设备
开关柜: 宽 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室: 宽 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
腔室容积: 约120 升
气体供给: MFC 控制的气体通道
发生器: 40 kHz,13.56 MHz
控制系统: PC 控制系统 (Windows)
更多详细资料,可联系上海尔迪仪器科技有限公司,电话!!
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Tetra 120 LF-PC | 特殊设备
开关柜: 宽 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室: 宽 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
腔室容积: 约120 升
气体供给: MFC 控制的气体通道
发生器: 40 kHz,13.56 MHz
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