日本ACE压力控制器AP160M
日本ACE压力控制器AP160M
AP160M
半导体自动调节器
非常适合从低真空到高真空的真空工艺设备
AP160M是一种控制器，可根据半导体制造过程中使用的气体，通过自动控制比例电磁阀的开度来自动调节管道中的压力。由于它具有内置压力传感器，因此无需添加外部传感器。
控制压力约为650kPa，控制流速为100kPa压差，有两种接触类型，即500cc / min和3000cc / min。通过通过脉冲宽度调制来控制比例电磁阀，AP160M模型可以提高响应度并消除滞后现象，因此可以在大约1秒钟内达到设定压力。
压力b接头是1/4“ VCR等效产品，气体接触部分和压力传感器均由金属制成，并且与惰性气体，腐蚀性气体，危险气体等所有气体兼容。除了半导体工艺气体以外，也是可能的。
| 模型 | AP160M |
| 主要用途 | 对于半导体 |
| 目标气体 | 半导体工艺气体就座气体 |
| 入口压力 | 500kPa以下 |
| 耐压 | 小于1000kPa |
| 压力设定 | 需要计算机等输入的压力设定值 |
| 控制方式 | 比例电磁浆控制 |
| 控制压力 | 0-500kPa |
| 流量 | 当压差为100 kPa时，有两种类型，即500 cc / min和3000 cc / min。 |
| 响应时间 | 1秒钟达到设定值 |
| 输入信号 | 0 ?? 5VDC连续/关闭 |
| R485 | |
| 外部传感器输入 | （4 ?? 20A可能） |
| 输出信号 | 报警输出RS485.0-5VDC |
| 管件 | 1/4〃VCR等效 |
| 阀座泄漏 | 10-6Pa ・ m3 /秒以下 |
| 准确性 | ±5kPa（在800kPaFS时） |
| 电源电压 | 24VDC±10％ |
| 目前的消费 | 200mA以下 |
| 工作温度 | 0-50℃无凝结 |
| 面之间的外部尺寸 | 宽36×深46×高60mm |
| 压力传感器 | 是（内置） |
| 显示设定装置 | 没有装备 |
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