真空干燥箱:
真空雰囲気下での加熱処理を目的とし、耐熱圧力容器内にシーズヒータを3ゾーン構成で配置した内熱式タイプです。主な用途としてポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥/ベークなどがあります。またマッフル外周のエアジャケットにフレッシュエアーを導入、降温時間の短縮が可能です。
- タクトタイムを短縮した高能率タイプ
- 高精度な3ゾーン個別制御
- 冷却ブロアを標準装備
- ステンレスマッフルを装備
- ポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥・ベーク
- 真空度に応じたポンプ選択が可能
| SHB-8810-5VC | |
|---|---|
| *高使用温度(注1) | 500℃ |
| 常用使用温度範囲(注1) | 250～480℃ |
| 温度制御 | プログラマ |
| 指示精度 | ±0.1%FS±1digit |
| 記憶容量 | 19パターン (30セグメント/1パターン) |
| 調節動作 | オートチューニング付PID制御 |
| ヒータ出力 | 5.0kW(at 200V) |
| 熱電対 | K |
| 外形寸法(mm) | 1000(W)×1570(H)×1300(D) |
| マッフル内有効寸法(mm) | 200(W)×200(H)×250(D) |
| 炉内耐荷重 [等分布荷重] | 20kg |
| ブレーカー容量 | AC200V 40A 3相 50/60Hz |
| 過熱防止計 | 標準装備 |
| 電動機過負荷保護器 | 標準装備 |
| 冷却水断水検知器 | 標準装備 |
| ガス圧力低下検知器 | 標準装備 |
(注1) マッフル内制御点での値を示す。 | |
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