产品详情
性的技术革新，致轻、致小，实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
2.83L/min，同时测试0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色触摸显示屏
可使用附带软件在PC上显示测试数据
设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口
| 品 名 | 尘埃粒子计数器 | |
| 型 号 | 3950-00 | |
| 粒子测量 | 测试方法 | 光散射法 |
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| 粒径通道 | 2粒径（0.1、0.3μm） |
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| 额定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) |
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| 测量时间 | 6秒~99分59秒（1次测量时间） |
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| 间隔时间 | 6秒~99分59秒（测量周期） |
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| 采样次数 | 1~999次 或 连续测试 |
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| 地点设定 | 99个地点 |
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| 测量方式 | 重复、单次、连续、计算 |
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| 测量数据显示时间 | 1~10秒 |
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| 测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 |
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| 可测浓度 | 10,000,000个/m³ |
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| 计数效率 | 50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） |
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| 伪 计 数 | <1个/35min |
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| 粒径分辨率 | 15%以下（相对0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4） |
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| 气 源 | 内置泵 |
| 显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 | |
| 通迅功能 | 本 体 | USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） |
| 数据存储 | 媒 体 | 内存 |
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| 数量、格式 | 10,000个、CSV格式 |
| 显示语言 | 英文、日语 | |
| 电 源 | AC100~240V | |
| 使用环境 | 本 体 | 15~35℃、0~85%RH （无结露） |
| 外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
| 重 量 | 3.4kg | |
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