PF系列压电物镜聚焦台是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了扫描台的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。
PF系列压电物镜聚焦台主要特点：
- 亚纳米的分辨率
- 高的带宽
- 高速响应
- 高的可靠性
- 压电陶瓷驱动
- 柔性铰链设计
- 电容位移传感器闭环反馈
- 双传感器设计
u 主要应用
表面结构分析、 自动聚焦系统、共聚焦显微镜、扫描干涉仪等。
■ 技术数据
| 产品型号 | PFV**-80U（小负载型） | PFV**-80U-S（小负载型） | 公差 | |
| 运动自由度 | Z | Z | - | |
| 传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
| 标称行程范围（@0~+120V） | 80 μm | 80 μm | ±20% | |
| zui大行程范围（@-20~+150V） | 100 μm | 100 μm | ±20% | |
| 分辨率 | 2.5 nm | 5 nm | typ. | |
| 重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
| 线性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
| 承载能力 | 2 N | 2 N | Max. | |
| 刚度 | 1.3 N/μm | 1.3 N/μm | ±20% | |
| 谐振频率 | 0g | 330 Hz | 330 Hz | ±20% |
| 静电容量 | 3.4 μF | 3.4 μF | ±20% | |
| 工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
| 驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
| 线缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm | |
| 外形尺寸(LxH) | 48×40×16.5 mm（不含适配器） | 48×40×19 mm（不含适配器） | - | |
| 重量 | 150 g | 150 g | ±5% | |
| 本体材质2 | 钢（W） | 钢（W） | - | |
说明：
1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用；*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。
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