日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
总览
下一代湿法HORIBA通过控制化学药品浓度来提高产量并优化工艺。
为了在半导体制造过程中遵守严格的化学浓度控制，我们实现了满足现场需求的z佳功能，例如稳定的测量精度，考虑到工作安全性的*管道固定结构以及紧凑的设计。
特征
实现*的非接触式和高稳定性
外部直接连接到PFA管道的*传感器结构消除了污染的风险。此外，它消除了安装传感器时的管道工作需求，并消除了化学泄漏等事故的风险。此外，通过更新传感器的光学系统，我们实现了小型化，同时保持了与常规产品（CS-600F * 1）相同的可重复性和稳定性。
高质量和稳定的测量
Contami风险为“零"
重现性和稳定性相当于传统产品CS-600F * 1
纠正由于液温变化而引起的显示器读数变化
采用HORIBA独chuang的算法来纠正气泡的影响
抑制振动效果
采用HORIBA独chuang的光学系统结构，可防止管道固定和未对准
节省空间
将光源和光谱仪集成到电池单元中
显示器使用面板安装类型（9.6厘米x 9.6厘米）
延长光源寿命
采用LED灯，使用寿命更长（5年保修）
改善工作安全
半年一次的BG校正周期
由于安装传感器时无需安装管道，因此降低了发生化学泄漏等事故的风险。
* 1 CS-600F是HORIBA的光纤型化学浓度监测仪。
由于不使用光纤的光学设计以及放大器和传感器的小型化，增加了安装布局的灵活性
实现直接和稳定的化学物质测量（20°C至80°C）
■稳定性
测量条件
测量周期：每3秒测量时间：1小时
移动平均值：16次温度：室温管径：3/4英寸
样品浓度（在测量开始时）
NH 3：0.95％H 2 O 2：5.15％H 2 O ：93.9％
测量结果作为
样品（实际溶液）的1小时的测量结果，显示出良好的稳定性。
日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
规范
产品名称 | 非接触式化学浓度监测仪CS-900 | ||||
模型 | CS-900 | ||||
测量原理 | 吸收光谱 | ||||
浓度计算方法 | 温度补偿多元分析方法 | ||||
测量范围/ | 型号名称 | 成分名称 | 测量范围 | 重现精度 | 模拟量输出范围 |
CS-900-1P-1P25P5 | NH 3 | 0.00％-1.20％ | ±0.05％ | 0.00-10.00 | |
H 2 O 2 | 0.00％-5.50％ | ±0.10％ | 0.00-10.00 | ||
高氧2 | 93.3％-100.0％ | ±1.0％ | --- | ||
CS-900-1P-P8P8 | NH 3 | 0.20％-0.80％ | ±0.03％ | 0.00-1.00 | |
H 2 O 2 | 0.20％-0.80％ | ±0.03％ | 0.00-1.00 | ||
高氧2 | 98.4％-99.6％ | ±0.3％ | --- | ||
测量条件 | 1）测量周期：大约3秒 | ||||
管道* 1 | PFA管道1英寸或3/4英寸 | ||||
样品溶液条件* 2 | 化学溶液温度：20-80°C化学 | ||||
电源供应 | DC24V | ||||
消耗功率* 3 | 约30W | ||||
大众 | 显示：约0.9Kg | ||||
外形尺寸（宽x深x高） | 显示：96 x 135 x 96 mm | ||||
传感器单元安装角度 | 前后方向：±3度以内，左右方向：0-90度 | ||||
光源寿命 | 5年 | ||||
通讯 | 并行I / O，RS-232C，模拟输出 | ||||
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