fujikura-control减压阀RS系列/RR系列
fujikura-control减压阀RS系列/RR系列
可在洁净室环境中使用的超精密调节器。
可在无尘室环境下使用的超精密空气继电器
特徴
圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
■クリーン仕様
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
■排気ポートを設備
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
■マニホールド対応
マニホールド配管が可能です。
■高精度
感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。
■長期圧力安定性
一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど設定しません。
特徴
圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
■クリーン仕様
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
■排気ポートを設備
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
■マニホールド対応
マニホールド配管が可能です。
■高精度
感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。
■長期圧力安定性
一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど設定しません。
用途
■クリーンルーム内での精密圧力制御に最適です。
仕 様型 式項 目内部パイロット式 RS--4 RS--8外部パイロット式 RR--8使 用 流 体 圧縮清浄空気圧力設定範囲 kPa 14～420 14～8401 次側圧力範囲 MPa 1MPa MAX.リリーフの有無 有 り繰り返し再現性 % F.S. ± 0.1以内感 度 % F.S. 0.1以内空気消費量 /min（normal） 3.7使用温度範囲 ℃ 5～60配管接続口径 Rc Rc1 ／4,マニホールド圧力計接続口径 Rc Rc1 ／4ブラケット RS-□-2-KA のみ装備質 量 kg RS：0.41／RR：0.45クリーン仕様部品はステンレス，フッ素ゴム，その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので，発塵が極めて少なくなっております。超精密エアリレー圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。● 排気ポートを設備リリーフ孔，ブリード孔に排気用の配管を接続できますので，リリーフエア，ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
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