osakavacuum磁力轴承式涡轮分子泵 控制器 传输数据TG907M/TG1307M
osakavacuum磁力轴承式涡轮分子泵 控制器 传输数据TG907M/TG1307M
新型磁力轴承式涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M的特点
省电设计
操作数据、触地次数、型号信息等可保存在主机中 * 即使在检修期间更换控制器，也可以传输数据。
用法
半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/透镜等光学零件加工
胶片加工
加速器/空间环境试验设备
■ 可在大气压力下连续运行
打开时排气速度 800L/min
■ 可能吸入蒸气
蒸汽处理量 500g/hr
■缩短排气时间
保持恒定的排气速度直到到达近点
■ 风冷规格
用法
・小型实验用真空
・load lock chamber抽真空、输送
、分析、测量设备、吸附、输送
、
加速器排气
、密封、密封
、电子枪源、离子枪源排气
、干燥
、溅射沉积等PVD设备的辅助泵排气
、小炉排气
、 TMP等高真空泵
| 模型 | FR060D | ||
| 抽速(L/min) | 最大限度 | 1000 | |
| 开放运营 | 800 | ||
| 极限试验压力（Pa） | 一般来说 | 1.0 | |
| 气镇 | 2.0 | ||
| 连接格式 | 进气口 | (西北) 40 | |
| 排气口 | (西北) 40 | ||
| 最大水蒸气处理量*1 (g/hr) | 500 | ||
| 润滑剂体积 (mL) | 90后 | ||
| 功耗（千瓦） | 在极限压力下 | 1.1 | |
| 最大限度 | 1.3 | ||
| 电源 | 电压（V） | 200-240 | |
| 频率（赫兹） | 50/60 | ||
| 相数 | 单相/三相 | ||
| 允许电压波动*2 | ±10% | ||
| 功率容量(kVA) | 3.0 | ||
| 电流 (A) | 单相 | 11.1 | |
| 三相 | 6.5 | ||
| 冷却方式 | 空气冷却 | ||
| 大约质量 (kg) | 75 | ||
| 环境温度（℃） | 5-40 | ||
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