CHOTEST中图仪器白光干涉三维轮廓仪SuperViewW1采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。是一款用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的光学仪器。

产品功能

设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

结果组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

性能参数

性能特色

1、高精度、高重复性

采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；

隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；

2、环境噪声检测功能

具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块，能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

CHOTEST中图仪器白光干涉三维轮廓仪能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。