产品说明: |
大型等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 13.56MH高频功率输出,RIE/DP双工作模式
█特征 能针对性的制作一些特殊电极,提高生产效率。 高可靠性RF电源,高精度调谐装置 █用途 *硅晶圆的灰化及蚀刻 *IC封装,BGA/CSP基板处理 *电子半导体零部件和电子材料的干式清洗 *物体表面氧化物和有机物的去除 *镀膜,烤漆前的清洗(增强膜层的附着力) █电极构造 █技术规格 |
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产品说明:大型等离子清洗机V1000/1000X/1000XS13.56MH高频功率输出,RIE/DP双工作模式█特征能针对性的制作一些特殊电极,提高生产效率
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大型等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 13.56MH高频功率输出,RIE/DP双工作模式
█特征 能针对性的制作一些特殊电极,提高生产效率。 高可靠性RF电源,高精度调谐装置 █用途 *硅晶圆的灰化及蚀刻 *IC封装,BGA/CSP基板处理 *电子半导体零部件和电子材料的干式清洗 *物体表面氧化物和有机物的去除 *镀膜,烤漆前的清洗(增强膜层的附着力) █电极构造 █技术规格 |
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