型号

PR1000

方式

DP模式、圆柱形腔体

性能

发生器功率：

0-1000W

发生器频率：

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式：

自动匹配（Auto matching)

构成

腔体材质：

石英

腔体内尺寸：

φ400×L500mm 约62.8L

反应气体：

双路工艺气体，其中一路可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体，一路防腐蚀气路支持CF4.

填充气体：

一路氮气

控制方式：

全自动控制，7寸液晶触摸屏

真空度显示：

测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空度

配管材质：

SUS不锈钢以及特氟龙

门：

                                          铰链门

涂装颜色：

                                        标准色，白系

外形尺寸：

W800×D919×H1958mm （高度含警报灯）

真空泵：

无油干式真空泵    抽速60m3/hour，吸气口NW40,排气口NW25

电源规格：

                                    3phase   AC200V  50/60Hz  8A  

重量：

                                         约215kg

附属品

真空管件一套、真空转接接头一套、6寸、8寸石英舟各一枚