型号：GMG-2020C

说明：2kW/2450MHz高稳定程控微波功率源

GMG-2020C 2KW程控微波源概述

GMG-2020C 2KW程控微波源，是总结多年来我们研制和生产高稳定微波源的经验和客户反馈的意见，经过精心设计和改进而研制成功的。其稳定度高，性能优良、工作稳定可靠、使用方便。

本系统采用的单片机程序触摸屏控制。控制精度高、稳定性好、操作简单。

本系统采用控制柜与功率头分离结构，有利于用户方便连接不同类型的波导系统。

用户配接相应的反应器，可广泛用于金刚石、类金刚石等多种薄膜的MPCVD；微波ECR系统，微波等离子源；微波精细陶瓷烧结等高科技领域的科研和生产。

二. 微波源系统组成及技术指标

2.1. 系统组成

1）微波功率头: 采用微波磁控管作为功率源，输出功率为2000W。

2）传输系统: 可根据用户要求选配，如环行器，短负载，电动三销钉调配器等组件。

3）控制系统: 采用单片机控制，控制微波输出功率、反射功率和工作时间。

以上三部分构成微波源.

2.2. 主要技术指标

1）工作频率：2450MHz±25MHz

2）输出功率：200W~2000W连续可调，（要求三相电压平衡，相电压差不超过1%）

3）功率稳定度：输出功率变化±1%（输出2kW时）。

4）控制方式：面板操作控制方式。

5）功率显示：采用3组4位数显表分别显示微波反射功率值、输出功率值、工作时间或设定功率值。

6）传输系统: 该系统可根据要求配三端环行器，短负载,电动三销钉调配器等波导组件。负载驻波系数(VSWR)在1.5-50大幅度变化时仍能调配和稳定工作。

7）设备保护系统：系统有完善的保护功能，对电源、冷却水等异常情况进行自动保护，确保工作安全可靠。

8）微波泄漏符合国家标准。

9）输出波导：          BJ-26带FD-26标准法兰盘；

10）电源：               三相四线 380V±10%  /50Hz

11）功耗：        <2.5 KW

12）接地电阻：        小于5Ω

13）冷却水压：         400 KPa

14）冷却水流量：      3 升/分

15）冷却水接头直径：Φ10 mm