主要用途：该系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验，真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

产品介绍：

JCF-31200型CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成 ，温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

JCF-31200管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

应用范围：

JCF-31200型CVD炉是一种特殊的CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

规格参数：

高温炉壳体,采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃，内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率2.5 KW

电压AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

加热元件含钼电阻丝（表面涂有氧化锆涂层，使其延长使用寿命）

工作温度1200℃

连续工作温度1100℃

升温速率<= 20℃/min

炉管材质和尺寸石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热区长度200mm*3

恒温区长度100mm*3

控温系统PID30段程序化控温

控温精度+/-1℃

真空密封系统两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）

真空泵采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。

数字式真空显示计 进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上，测量范围为10-4Torr~1000Torr

混气系统三个浮子流量计(准确率4%FS)

三路浮子量程分别为

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

内部安装有一混气罐

尺寸炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm

混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重60kg

标准配件：

浮子混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1份