1200℃集成型自动小型PECVD系统-洛阳西格马高温电炉有限公司

1200℃集成型自动小型PECVD系统电炉概述：

电炉用途

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD系统配置；

1、200度开启式滑动单温区真空管式炉

2、等离子射频电源

3、多路质量流量控制系统

4、真空系统（单独购买）

电炉特性;

电源范围广；温度范围宽；溅射区域长；整管可调；精致小巧，性价比高，可实现快速升降温，是实验室生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等的烧结设备，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

系统名称	集成型PECVD系统	1200℃小型PECVD系统
系统型号	PECVD-12IH-500A	PECVD-12IH-4Z/G
控制方式	液晶屏微PLC控制系统	手动
极限温度	1200℃
加热区长度	200mm
恒温区长度	100mm
温区	单温区
石英管管径	Phi;60mm	Phi;50mm
额定功率	2、Kw	2Kw
额定电压	220V
滑动方式及距离	自动滑动;200mm	手动滑动;200mm
温度控制	30段程序控温	50段程序控温
控制精度	±1℃
炉管极限工作温度	＜1200℃
气路法兰	采用多环密封技术卡箍快速连接
排风冷却装置	*的空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到50℃时，排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温。
气体控制方式	质量流量计（按键式）
气路数量	2路（2-4路）	4路（可根据具体需要选配气路数量）
流量范围	0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标定
精度	±1%F.S
响应时间	1sec
工作温度（流量计）	20-120℃
工作压力	进气压力0.05-0.3Mpa(表压力）
进气方式	采用防倒流设计
规格	中真空（集成型请单独购买）
系统真空范围	10Pa-100Pa
真空泵	双级机械泵理论极限真空度3x10^-1Pa，抽气速率4L/S（选配：其他抽速真空泵）,出气口配有油污过滤器，额定电压220V，功率0.55Kw
信号频率	13、56MHz±0.005%
功率输出范围	0W-500W	0W-100W
额定反射功率	350W	30W
射频输出接口	50Omega;，N-type,temale
功率稳定度	±0.1%
谐波分量	le;-50dbc
供电电压	单相交流（187V-253V)频率50/60HZ
整机功率	ge;70%
屏幕显示	正方向功率，匹配器电容位置，偏置电压值
炉体外形尺寸	290times;350times;340mm	290times;350times;495mm
系统外形尺寸	420times;1440times;1100mm	530times;2310times;750mm
系统总重量	270Kg

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