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| 1、清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染； 2、上开启式结构，方便观察试样； 3、电炉采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示； 4、设备一体化程度高； 5、稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量； | ||
| 电炉型号 | SGM-PECVD1200-80IT | ||
| 电气规格 | AC220V 4KW | ||
| 额定温度 | 1200 ℃ | ||
| 连续温度 | 1150℃ | ||
| 额定加热速率 | ≤ 20 ℃/分钟 | ||
| 射频电源 | 500W13、56MHz | ||
| 炉管尺寸 | Φ80*1200mm | ||
| 沉积示意图 |
| 如图所示：此为该设备沉积过程中的示意图 | |
| 控制系统 |
| 1、采用全自动控制方式,触摸屏实时显示设备各项数据； 2、实验过程更加直观，操作更加便捷； 3、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | |
| 温度精度 | +/- 1 ℃ | ||
| 加热元件 |
| Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金 | |
| 密封系统 |
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| 真空度：≤10Pa（机械泵） | |||
| 压力测量与监控 |
| 采用数显真空计，可使设备真空度更加直观，实验结果更加准确。 | |
| 供气系统 |
| 采用两路质子流量计*控制气体流速，与设备集成为一体； | |
| 净重 | 360KG | ||
| 设备使用注意事项 | 1、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（*压力），以防止压力过大造成设备损坏； 2、真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。 | ||
| 服务支持 | 1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）。 |
哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好，售后完善。
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