【电炉名称】1400℃-CVD管式炉
【炉管尺寸】φ25--φ120mm
【加热区】300mm
【额定温度】1400℃
【控温精度】±1℃
【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用*为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。
电炉描述
电炉主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理，优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统，可保证实验数据的可靠性；电炉采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料，炉管材质优良，炉管两端不锈钢法兰密封，可在真空下工作，法兰上有进气口和出气口，可通入保护气体，精密针型阀可调节进气流量。
电炉特点
1、炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料，新型拼装结构，高温不变形、坚固耐用
2、加热体采用硅碳棒，可承受负荷大，稳定且使用寿命长
3、炉管采用石英管，两端不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸，方便进出被烧结样品
4、升温速度快，从室温升到1400摄氏度，一般需要50分钟
5、采用智能PID温控仪表，控温精度高，冲温小，具有温度补偿和温度校正功能，精度为±1℃
6、控温仪表具有程序功能，可设定升温曲线，可编程序30段
7、一体式结构，外观技术设计，美观、大方
8、电子元器件均采用电炉，带有漏电保护功能，安全可靠
9、本机对工作过程中的超温会发出报警信号，并自动完成保护动作
10、当仪表程序设定完成后，只要按下运行按钮，接下来的工作会自动完成
11、可选配大屏幕无纸记录仪，实现对升温曲线的实时记录，并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印
12、可选配气体质量流量计，通入气体可数字*控制
| 常规型号 | SGMGC-25-14 | SGMGC-40-14 | SGMGC-60-14 | SGMGC-80-14 | SGMGC-100-14 | SGMGC-120-14 |
| 炉管尺寸 | Φ25x900mm | Φ40x900mm | Φ60 x900mm | Φ80x900mm | Φ100x900mm | Φ120x900mm |
| 额定温度 | 1400℃ | |||||
| 工作温度 | 1300℃ | |||||
| 加热区尺寸 | 300mm | |||||
| 电源电压 | 220V/2KW | 220V/2KW | 220V/3KW | 220V/4KW | 220V/5KW | 220V/8KW |
| 加热元件 | U型硅碳棒 | |||||
| 炉膛材料 | 湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 | |||||
| 炉管材料 | 刚玉管 | |||||
| 控温精度 | ±1℃ | |||||
| 测温元件 | S型铂铑热电偶 | |||||
| 温控仪表 | 智能微电脑PID温控仪表，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能；可编程序30个时段，程序升温、程序保温、程序降温 | |||||
| 升温速度 | 1-30℃/min自由调节 | |||||
| 炉体结构 | 炉膛温控一体式结构，双层外壳，空气循环隔热 | |||||
| 密封性能 | 炉管两端装有不锈钢金属法兰，配套高温PTFE垫圈，可在真空下进行工作， 密封真空度≤0.0001pa | |||||
| 气氛性能 | 法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 | |||||
| 真空获得 | 配套独立的真空获得系统，系统内配有1台双旋片式真空泵和数字真空计，包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件，系统真空度≤5pa，还可以选择分子泵机组 | |||||
| 气路系统 | 配套独立的气路系统，系统有三路浮子流量计组成，有混气室，可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统，浮子流量计量程：60-600ml/min；也可选择自动质量流量计系统，控制精度±1、5%FS，重复精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM | |||||
| 设备保护 | 模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作 | |||||
| 安全保护 | 在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员的安全 | |||||
| 外壳 | 优质冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 | |||||
| 质量认证 | ISO9001 CE SGS TUV | |||||
| 标准配置 | 1、炉体一台 2、温度控制器一台 3、电源线3米 4、热电偶一支 5、说明书一份 6、炉钩一把 7、高温手套一双 8、管堵二个 9、密封法兰一套 | |||||
哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好，售后完善。
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