真空化学气相沉积炉Vacuum chemical vapor deposition furnace
化学气相沉积炉由沉积室、供气系统和排气系统组成,是以电阻加热或者感应加热的方式,在真空环境下,通入沉积气体,并在高温下产生裂解后沉积到工件上,使复合材料得到致密化处理的生产设备。
应用领域:碳碳制品、热解石墨、耐热物质涂层、粉末合成
功能特点:操作简单、维护方便、可制备多种类型涂层及复合材料、产品致密均匀,纯度和晶粒度高.
性能参数:
电炉型号 | SGM BCVD-0510 | SGM BCVD-0812 | SGM BCVD-1015 | SGM BCVD-1215 | SGM BCVD-1218 |
均温区 (mm) | 500x1,000 | 800x1,200 | 1.000x1,500 | 1.200x1,500 | 1,200x1.800 |
均温性 | +3℃ | +3℃ | +3℃ | +3℃ | +3℃ |
加热功率 | 180Kw | 240Kw | 300Kw | 350Kw | 400Kw |
极限真空 | 20Pa | 20Pa | 20Pa | 20Pa | 20Pa |
压升率 | 1Pa/h | 1Pa/h | 1Pa/h | 1Pa/h | 1Pa/h |
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