1200度三温区CVD管式炉介绍：
SGM1200度三温区CVD管式炉由SGM 1200度管式炉+真空系统+供气系统组成 ，温度可以达到1200度。管式可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
1200度管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和日本岛电或宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
1200度三温区CVD管式炉应用范围：
1200度三温区CVD管式炉是一种特殊的CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
1200度三温区CVD管式炉主要技术参数：
| CVD管式炉 | 1200度管式炉+真空系统+供气系统 |
| 高温炉壳体 | 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃，内炉膛表面涂有1750℃氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 |
| 加热元件 | 掺钼铁鉻铝合金 |
| 额定温度 | 1200℃ |
| 连续工作温度 | 1100℃ |
| 升温速率 | <= 20 ℃ |
| 炉管材质和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加热区长度 | 三温区：200+200+200 mm |
| 恒温区长度 | 350 (+/-1 ℃) |
| 控温系统 | PID30段程序化控温 |
| 控温精度 | ±1 ℃ |
| 真空密封系统 | 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），额定漏气率6 mtorr/min |
| 真空泵 | 采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的*小微粒直径为0.3微米。 |
| 数字式真空显示计 | 数显真空计,已安装在不锈钢法兰上 |
| 混气系统 | 三个质量流量计 三路质量量程分别为 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 内部安装有一混气罐 |
| 功率 | 2.5 KW |
| 电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
| 售后服务 | 质保一年，终身保修 |
1200度CVD管式炉可选配件：
质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份
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