产品类别： 气体流量计

适用于大批量成本敏感的OEM项目

SFM5300质量流量计具有的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围，尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。

SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的技术，它在一个硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料，其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。

SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量控制器的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性，并适用于在类似的应用，这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。

性能参数:

低流量的高精确度（< 1 sccm）

优良的精度/可重复性（分别为测量值的2% / 0.2%）

宽动态范围（量程比1000:1）

尺寸紧凑(downmount安装连接)

多气体和气体识别

数字接口

高度可配置

MTBF 169年-无需再校准

文件下载：气体质量流量计 SFM5300