主要性能
大功率脉冲磁控溅射电源以快速开关控制正负电极放电，避免从传统磁控溅射之异常辉光放电区进入电弧放电区，电流密度可达1019 /m3 ，比传统磁控溅射高三个量级，离化率更高达70%-99% ，可轻易沉积各种高级膜，附着力强。几乎不用改变原来磁控溅射镀膜设备，可直接更换电源即可。
主要特点
DSP全数字控制，自动化程度高
具有过流、过压、超温保护
全逆变设计，大功率IGBT功率模块为主要器件，脉冲输出有较强的冲击力，单脉冲功率可达MW级
主要参数
1、 输入电压：380V±5％，50HZ，三相交流；
2、 输出电压：100V-4000V，脉冲电压；
3、 输出电流：100A-2000A，脉冲电流；
4、 输出脉宽：5-2500us，可设定；
5、 频率：30Hz-50kHz，可选择范围；
6、 输出功率：10KW 20KW 30KW 40KW 50KW
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