AWM2000系列微桥气体质量流量传感器
AWM2000系列微桥气体质量流量传感器
常用型号：
AWM2100V
AWM2150V
AWM2200V
AWM2300V
描述 ：
AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器为无源器件，包含两个惠斯顿电桥。发热控制电路和传感桥供电电路在相应操作中均需使用。这两套电路在传感器中未装配，应用中需另加。差分放大器作为传感桥的有效接口，可有助提高增益和调节传感器输出电压偏移。
特点
● 双向传感功能
● 实际气体质量流量传感
● 微差压传感
注 ：
1. 输出电压随电源电压成正比变化。
2. 差压器件的温漂主要由气体浓度随温度变化而引起。见应用指南 1。
3. 为避免损坏，允许流量变化率为 5 SLPM/1.0 sec。
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