| 设备简介： 化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用非常广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
| ||
|
|
| |
|
| ||
配置详情
| NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正； | ||||||||
产品型号 | NBD-HR1200-110IT | ||||||||
工作温度 | ≤1100℃ | ||||||||
加热区尺寸 | 200mm | ||||||||
升温速率 | ≤100℃/s | ||||||||
电气规格 | AC 380V 15KW | ||||||||
气体系统（可选购） | 流量计类型 | 浮子流量计 | 质量流量计 | ||||||
管道示意图 |
|
| |||||||
进气接口数量 | 2、3、4（多路可选） | ||||||||
流量范围 | 20-250/20-800ml/min(多量程可选) | 50/100/200sccm(多量程可选) | |||||||
工作压差范围 | 0-0.15MPa | ||||||||
低真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||
抽气速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||
进排气口尺寸 | Φ8mm宝塔接头 | Φ8mm宝塔接头 | KF16/25 | ||||||
极限压力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||
工作温度 | 5-40℃ | ||||||||
电气规格 | AC220V | ||||||||
高真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||
抽气速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||
真空测量计 | 复合真空计 | ||||||||
极限压力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||
工作温度 | 5-40℃ | ||||||||
电气规格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询 | |||||||||
免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。