| 设备简介： 多温区CVD系统一体炉，供气和真空系统灵活组合，满足各类薄膜沉积，在半导体工业中应用非常广泛。包括沉积大面积的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。诺巴迪成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
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| 1.采用高纯石英或不锈钢材质炉管，耐腐蚀耐高温性能优越； 2.高纯度Al2O3纤维耐火保温材料，保温效果优越，降低设备功耗； 3.炉体采用双层风冷结构工艺，自动抬升系统开启上盖； 4.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实时加热功率显示，非线性式样温度修正；实验报告自主生成，实验数据无限次导出。 5.一体化设备包含多路供气系统，多温区加热系统和高真空系统； | |||||||||||||||
产品型号 | 三温区 | 四温区 | 五温区 | 六温区 | ||||||||||||
炉管尺寸 | Ø25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*1600mm | |||||||||||||||
工作温度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||
加热区选择 (可定制） | 200mm*3 200+300+200mm 200+400+200mm 300mm*3 300+400+300mm | 200mm*4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm*4 300+400+400+300mm | 200mm*5 300mm*5
| 200mm*6 300mm*6
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升温速率 | ≤20℃/min | |||||||||||||||
电气规格 | AC380V 6~10KW | AC380V 8~14KW | AC380V 10~15KW | AC380V 12~18KW | ||||||||||||
气体系统（可选购） | 浮子或质子 | |||||||||||||||
管道示意图 |
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进气接口数量 | 2、3、4（多路可选） | |||||||||||||||
流量范围 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可选) 50/100/200/500sccm......(多量程可选) | |||||||||||||||
工作压差范围 | 0-0.15MPa | |||||||||||||||
低真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-3C/NBD-4C | ||||||||||||||
抽气速率 | 3L/s或4L/s | |||||||||||||||
进排气口尺寸 | KF16/25 | |||||||||||||||
系统真空 | 3~5Pa（真空泵极限真空6.2*10-2Pa） | |||||||||||||||
工作环境温度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
电气规格 | AC220V | |||||||||||||||
高真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | |||||||||||||
抽气速率 | 110L/s | 600L/s | ||||||||||||||
真空测量计 | 复合真空计 | |||||||||||||||
系统真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | ||||||||||||||
工作温度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
电气规格 | AC 220V | AC 380V | ||||||||||||||
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询 | ||||||||||||||||
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