DH900DZX箱式多弧磁控镀膜机可镀制不锈钢，铬，钨等多种金属，也可镀制合金膜或化合物，也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN TiCN TiAIN等硬质或装饰涂层，具有镀膜速度快，膜层质量好的优点。
◆ 真空室：镀膜室尺寸900×900×1000mm3 ；箱式，前开门结构；
◆ 抽气系统：机械泵：前级泵70L/S；维持泵：2×-8旋片泵；罗茨泵：ZJP-150；扩散泵：KT-500凸腔扩泵；分子泵：FF250/1600﹝选配﹞
◆ 极限真空：5×10-4Pa; 恢复真空：5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
◆ 镀膜系统：平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源；小弧源/柱弧源；
◆ 辅助镀膜系统：脉冲偏压电源。条形离子源﹝选配﹞。
◆ 膜厚测量系统：石英晶体膜厚监控系统﹝选配﹞。
◆ 进气系统：自动压强控制+多路质量流量控制系统；
◆ 操作方式：手动按键式；自动控型配置：研华工控机，80G硬盘，512内存+日本三菱PLC；15英寸液晶显示触摸屏界面；
◆ 旋转夹具：公转/自转夹具，速度从0～15r/min 无级可调；
◆ 工作烘烤：室温～300 ℃；
◆ 供电电源：三相380V，50HZ。
◆ 特殊规格可定制。
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