SHST2248A多功能微小电阻测试仪
一、概述
SHST
SHST2248A多功能微小电阻测试仪（多功能四探针测试仪）特赠设测试结果分类功能，*大分类10类
SHST2248A多功能微小电阻测试仪（多功能四探针测试仪）由主机、测试探头（可选配测试台）等部分组成。主机主要由数控恒流源、高分辨率ADC、键盘输入、显示驱动及嵌入式单片机系统组成。
SHST2248A多功能微小电阻测试仪（多功能四探针测试仪）所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程，其电压电流组合规则符合国家标准中关于半导体材料测试电压电流选择推荐要求；测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、测量简便等特点。
SHST2248A多功能微小电阻测试仪（多功能四探针测试仪）适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料、电阻器、开关器件的电阻（率）性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻（率）及要求结果分选的场合。
二、技术参数
1. 测量范围、分辨率
电 阻： 1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω
电 阻 率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm
方块电阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
2. 量程划分及误差等级
序号 | 量程 | 有效测量范围/F | 单位 | 误差 | 备注 |
1 | 200.0 kΩ-cm/□ | 210.0～020.0 | kΩ-cm/□ | ±0.5%FSB ±1LSB （在各量程范围内） | 超量程:R＞250.0 kΩ或 ρ＞200.0 kΩ-cm或 欠量程: R＜ ρ＜ 可测量，但误差将随超欠程度而变大 |
2 | 20.00 kΩ-cm/□ | 21.00～02.00 | kΩ-cm/□ | ||
3 | 2.000 kΩ-cm/□ | 2.100～0.200 | kΩ-cm/□ | ||
4 | 200.0 Ω-cm/□ | 210.0～020.0 | Ω-cm/□ | ||
5 | 20.00 Ω-cm/□ | 21.00～02.00 | Ω-cm/□ | ||
6 | 2.000 Ω-cm/□ | 2.100～0.200 | Ω-cm/□ | ||
7 | 200.0 mΩ-cm/□ | 210.0～000.0 | mΩ-cm/□ |
3. 可测半导体材料尺寸
直 径： 测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
长（或高）度： 测试台直接测试方式 H≤
4. 测量方位
轴向、径向均可
5. 数字电压表：
⑴量程：10mV ～ 100 mV，自动
⑵显示: 4位有效数字，*大显示999.9 小数点、单位自动显示
6. 数控恒流源
电流输出：直流电流2µA～100mA可调，系统自动步进调整。
7. 四探针测试探头：
⑴探 针 间 距：
⑵探针机械游移率： ±1.0%
⑶探 针： 碳化钨，Φ
⑷压 力： 0～2kg可调,*大压力约
8. 电源：
功 耗：< 3W
输入:220V±10% 50Hz
9. 本仪器工作条件为：
温 度： 23℃±
相对湿度： ≥60%
工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。
10. 外形尺寸：
主机
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