Nova™ Nano SEM 扫描电镜特点
• 场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子枪。
• *的光学和探测技术，包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS和STEM，可实现*信息选择和图像优化。
• 低至50V的射束着陆能量。
• 1.4 nm @ 1 kV、无射束减速。
• *真正高分辨率的低真空FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa。
• 高达200nA的高真空或低真空分析。
• 整合式 16 位扫描/制图引擎。
• 超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统。
• 150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台（Nova NanoSEM 650）。
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