1600℃三温区三路气体高真空CVD系统,真空度可达6.67x10-3Pa(也可定制6.67x10-6Pa),三个温区独立控制加热,实验操作更加方便。超高温加热元件,额定工作温度可达1550℃。
主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜、各种材料锻烧、需要温度梯度的各种CVD实验。
该产品造型优美、做工精细,测温精准、控温稳定。
管式炉炉管尺寸:Φ60*220*220*220MM,0~1550℃工作温度区间;
真空泵:5~6.67x10-3Pa真空度(可定制6.67x10-6Pa),质子流量计精确至0.1
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