RTP快速退火炉是我公司自主研发的功能强大的加热设备。RTP快速退火炉采用进口红外加热管加热，造型新颖结构合理，炉体和炉管可以自由滑动，可实现快速升降温。炉管内尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成生产工艺的同时也大大降低了间接污染试样的可能性。设备配备LCD高清触摸屏，设定数据实验操作均为图文界面，操作方便快捷易上手，能够大大提高您的实验效率。设备预留了真空和气路的快速接口，可以选购我们的真空系统和混气系统一起使用。

RTP快速退火炉应用领域：

  快速退火炉设备，可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积等。

RTP快速退火炉技术参数：

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