扫描电子显微镜 AeroSurf 15特色

• 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
• 从低真空到大气压（数 Pa～105 Pa），可在大范围压力下进行SEM观察
• 标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能
• 在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）
• 主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
• 无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
• 概要

大气压观察（图1）

• 样品设置在标准大气压环境下（105 Pa）
• 配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察
• 而且，可通过附带的真空泵在负压下（约103～105 Pa）进行观察

低真空观察（图2）

• 隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析
• 搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器

图1：大气压或负压观察时

图2：低真空观察时

扫描电子显微镜 AeroSurf 15规格

应用实例
材料领域

含水再生纤维素纤维的干燥动态观察

样品提供：旭化成株式会社 乙部先生

将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分，然后在大气压下进行了观察。
首先观察到纤维之间的水分蒸发，然后是纤维内部的水分蒸发，并因此纤维本身收缩，后是整个样品收缩的情景。
根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果，得出含水时膨胀30%，和含水时的纤维膨胀率。

ZEPTORON PP（聚丙烯纳米纤维）的经时观察

试样提供：Zepto Co., Ltd.

在疏水性优异的此样品中，可看到油渗入纤维内，水分不会渗入，所以可观察到水分在纤维上的情景。

植物领域

花粉

光学显微镜观察后，无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察。

杜鹃花花粉

食品领域

味噌（自家制）

干燥的意大利面

在大气压下观察干燥的意大利面的表面后，在真空中观察同一样品，可观察到表面有大量裂纹。
推测是在真空环境下，样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏，即使是干燥的样品，如果想观察本来的形状，通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法。

生物领域

大肠杆菌

大肠杆菌经过培养后，用纯水稀释，涂抹在塑料板上，用甲醇固定后进行了观察（无染色）。