? 设计低噪音线性伺服马达驱动系统500mm/sec的高速扫描
? 扫描测量轴，步测量轴，焦点测量轴的分辨率可达到0.1μm的高精解析
? 具有可移动的穿透法扫描功能
? 有效扫描范围：200mm×150mm
? 0.1μm 编码器分辨率
? 焦点测量轴的位移：50mm/0.1μm分档器分辨率
? 仪器尺寸：495(W)×386(D)×450(H)mm
探头功能
? 多种微小电子零部件和实装部件（芯片，QSP，陶器，薄膜）
? 复合材料的检测
? 频率可提供1MHz-250MHz
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