纳米压电旋转位移台RF-8382A,通过压电陶瓷驱动,具有定位精准,位置保持性好,自带锁紧,能360°无限旋转等优点。在增强位置反馈模块后,可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制,适用于大气及真空环境下工作。
• 应用案例
△ 电子显微镜原位纳米探针台
△ 半导体芯片检测
△ 光刻机工件台
△ 微生物操纵手
△ 光纤焊接
△ 超精密组装
△ 精密检测与测量
△ 高精度激光对焦
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纳米压电旋转台RF-8382A,通过压电陶瓷驱动,具有定位精准,位置保持性好,自带锁紧,能360°无限旋转等优点。在增强位置反馈模块后,可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制,适用于大气及真空环境下工作。
纳米压电旋转位移台RF-8382A,通过压电陶瓷驱动,具有定位精准,位置保持性好,自带锁紧,能360°无限旋转等优点。在增强位置反馈模块后,可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制,适用于大气及真空环境下工作。
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