| 型式 | mju-口4 | mju-口6 | mju-口8 | mju-口9 | mju-口2 | ||
| C4:CALYPSO规格 X4:XYANA规格 | C6:CALYPSO规格 X6:XYANA规格 | C8:CALYPSO规格 X8:XYANA规格 | C9:CALYPSO规格 X9:XYANA规格 | C2:CALYPSO规格 X2:XYANA规格 | |||
| 测量范围 | X轴(mm) | 510 | |||||
| Y轴(mm) | 460 | ||||||
| Z轴(mm) | 410 | ||||||
| 测长方式 | 线性光栅尺系统 | ||||||
| 最小显示(μm) | 0.01 | ||||||
| 测量精度* | 允许长度误差: Eo,MPE(μm) E150,MPE(μm) | 2.7+L/250 3.2+L/250 | 2.2+L/250 2.7+L/150 | 2.7+L/150 - | 2.2+L/250 2.7+L/150 | 2.7+L/250 3.2+L/250 | |
| 重复精度: Ro,MPL(μm) | 1.8 | 1.4*1 | 2.0 | 1.4*1 | 1.8 | ||
| 允许单测针性状误差 PFTU,MPE(μm) | 2.7 | 2.5*1 | 3.3 | 2.5*1 | 2.7 | ||
| 测针系统 | PH1OT/TP20 | PH1OT/TP200B | RTP20 | PH1/TP200B | PH1/TP20 | ||
| 各轴案内方式 | 线性导轨、空气轴承并用 | ||||||
| 工作台 | 材质 | 大理石 | |||||
| 使用可能宽度(X)(mm) | 700 | ||||||
| 使用可能深度(Y)(mm) | 900 | ||||||
| 离地面高度(mm) | 725 | ||||||
| 平面度 | JIS 1級 | ||||||
| 被测物安装螺钉 | M10 螺纹孔 | ||||||
| 被测物 | 高(mm) | 520 | |||||
| 重量(kg) | 200 | ||||||
| 驱动速度 | 加速度(mm/sec2) | 1732 | |||||
| 速度可変范围 | CNC自动测量 0.01~433 mm/sec(无级变速) | ||||||
| 操纵杆及手动模式(自动测量) 0~120mm/sec(无极变速) | |||||||
| 测量速度 | 操纵杆及手动模式(自动测量) 0~5 mm/sec | ||||||
| 各轴导轨方式 | 线性导轨、空气轴承并用 | ||||||
| 测量部 外形尺寸 | 宽(mm) | 1145 | |||||
| 长(mm) | 1256 | ||||||
| 高(mm) | 2170 | ||||||
| 本体重量(kg) | 660 | ||||||
| 精度保証环境 温度条件 | 环境温度(C) | 18~22 | |||||
| 温度 变化 | (C/hour) | 1.0 | |||||
| (C/day) | 2.0 | ||||||
| 温度梯度(C/m) | 1.0 | ||||||
＊1．温度条件 ：环境温度18~24 度
*测量精度的E0，MPE、E150、MPE及R0，MPL是基于JIS B 7440-2:2013(ISO 10360-
2:2009)的评价方法、PFTU、MPE是基于JIS B 7440-5:2013(ISO 10360-5:2010)的评价方法。
*L为要测量的2点间的距离（单位 ：mm）
*测量精度是根据下述规格测量得到的数值。
*TP20、RTP20…LF模块以及标准测针
*TP200B…SF模块以及标准测针
* 标准测针规格 顶端Φ4、L20mm、雷尼绍生产订制测针
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