等离子光氧一体机主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，头部放电形式产生浓度好离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生浓度好、强度好、定量的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

活性自由基可以效果优良地破坏各种病毒、 物质中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能速度适宜将有用废气分子等离子体中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性优良的O3，能与无具体以临床效果为主体分子发生化学反应，后面生成性能稳定产物。

等离子光氧一体机工艺原理：

介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在电子的作用下也可产生大量的以临床为主态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较量的活性基团发生反应，转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。