炉体真空系统介绍：
炉体真空系统由2H70滑阀泵2台，ZJP1200、ZJ300罗茨泵各2台，K-1000油扩散泵2台及真空阀门、真空管道组成，真空测量仪表选用ZDF—III—LED复合真空计，炉体极限真空：1.0×10-3Pa，在油扩散泵油温达到工作温度大阀开启后10分钟真空度达到5.0×10-3Pa。
炉体工作真空度：5.0×10-2Pa～5.0×10-3 Pa。
电子束炉体真空系统展示：
株洲市立杰电热技术有限责任公司
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炉体真空系统介绍：炉体真空系统由2H70滑阀泵2台，ZJP1200、ZJ300罗茨泵各2台，K-1000油扩散泵2台及真空阀门、真空管道组成，真空测量仪表选用ZDF—III—LED复合真空计，炉体极限真空：1.0×10-3Pa，在油扩散泵油温达到工作温度大阀开启后10分钟真空度达到5.0×10-3Pa
炉体真空系统介绍：
炉体真空系统由2H70滑阀泵2台，ZJP1200、ZJ300罗茨泵各2台，K-1000油扩散泵2台及真空阀门、真空管道组成，真空测量仪表选用ZDF—III—LED复合真空计，炉体极限真空：1.0×10-3Pa，在油扩散泵油温达到工作温度大阀开启后10分钟真空度达到5.0×10-3Pa。
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