CS200质量流量计气体配比器

CS200质量流量计气体配比器 KT-C4ZS模拟质量流量控制器高精度型,快响应型流量控制流量检测国际兼容用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

CS200气体质量流量控制器，采用*传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化，所需流量更加精准。

• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。

• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。

• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。

• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

技术参数

CS200
类型	CS200-A		CS200-C		CS200-D
阀类型	常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭	无	常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭	无	常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭	无
流量规格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1sec		≤ 0.8sec
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa
工作压力	0.45MPa
温度系数	零点： ≤±0.05% F.S./℃；调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM		零点： ≤±0.02% F.S./℃；调节时： ≤±0.05% F.S./℃
耐压强度	3MPa
漏率	1×10^-10 Pa·m³ / sec He		1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	氟橡胶		金属密封
工作环境温度	（5～45）℃		（0～50）℃
输入信号	数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无	数字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无	数字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无
输出信号	数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)
表面化学成分	常态		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常态
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra
标准接头形式	双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头； φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头;		双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4；VCR1/4 阳接头； 1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头
电源接头形式	D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg