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>SLC-17系列直线位移台<

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  • 品牌:
  • 产品类别:其它
  • 所在地:北京市
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  • 更新时间:2024-10-09 11:51:58
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北京联合经纬光电科技有限公司

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产品简介

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>

SLC-17系列产品都是17 mm宽,8.5 mm高。它们刚性非常好,非常适合稳定性和高精度为要务的微纳位移系统。尽管它们的尺寸很小,用于微纳位移任务的位置传感器仍然可以集成到每个位移器中,而不影响位移器的外形尺寸。由于这种高集成度,SLC-1720-S是最小的的具有宏观行程范围的闭环纳米位移器。

img1

参数

SLC-1720

SLC-1730

SLC-1740

SLC-1750

SLC-1760

SLC-1770

SLC-1780

行程

12mm

21mm

26mm

31mm

41mm

46mm

51mm

开环

分辨率

< 1 nm

速度

> 20 mm/s

垂直负载

20N

30N

体积

22x17 x8.5mm3

30x17x 8.5mm3

40x17 x8.5mm3

50x 17x8.5mm3

60x17 x8.5mm3

70x17 x8.5mm3

80x17 x8.5mm3

重量

13g

20g

26g

32g

38g

45g

51g

可选闭环传感器S

传感器

分辨率

1nm (MCS2)

重复

精度

±25nm

(MCS2)

±30nm

(MCS2)

± 40nm

(MCS2)

± 50nm

(MCS2)

±60nm

(MCS2)

± 70nm

(MCS2)

± 80nm

(MCS2)

可选闭环传感器L

传感器

分辨率

4nm (MCS2)

50 nm (HCU)

重复

精度

±50nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

±60nm (MCS2)

± 1µm

(H CU)

± 80 nm (MCS2)

± 1 µm

(HCU)

±100nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

±120nm (MCS2)

±1µm

(H CU)

±140nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

±160nm (MCS2)

± 1 µm

(H CU)

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