落地式阀门控制箱
（1）基础配置 ■尾气排放功能; ■具备一个预留扩充点 ■气体分配柜的负压应持续监控。 ■防爆外柜，烤漆或不锈钢外壳包覆 ■紧急切断功能,风压事故报警功能等 ■为保证安全，所有阀门管件须使用优质的国际品牌 ■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳 ■带外吹扫、带抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，泄漏报警对接，通风出口等 ■每个stick 可配置：手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表，压力传感器、减压阀，单向阀，过滤器、安全阀等
（2）产品特性 ■主材全部采用 SUS316无缝不锈钢管 ■主体阀门管件全部来自Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌国际 |
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（3）适用气体
易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
（4）适用行业
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校实验室等
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