产品型号

1600℃三温区高温真空管式炉 GSL-1600X-III

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3 、气： 如作为 CVD 系统使用，需自备气源 （标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

控温精度高，保温效果好，温度范围大，温度均匀性高，温区多，可通气氛抽真空及安全可靠、 操作简单等特点。

技术参数

1 、电源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、氧化铝陶瓷管： 外径 Ø60mm ，Ø80mm ，长 1200mm

3、加热元件： 温区 I 硅碳棒， 温区 II 硅钼棒， 温区 I 硅碳棒

4 、工作温度： 1300℃（温区 I）， 1500℃（温区 II）， 1300℃（温区 III）

5 、温度： 1400℃（温区 I）， 1600℃（温区 II）， 1400℃（温区 III）

6 、控温精度：±1℃

产品规格

尺寸： 860mm×470mm×720mm；重量： 150kg

标准配件

1

氧化铝陶瓷管

1 根

2

氧化铝管堵

4 个

3

真空法兰

1 套

4

坩埚钳

1 把

5

高温手套

1 双

可选配件

1、高真空系统

2、供气混气系统

3、石英管

4、氧化铝坩埚

5、石英坩埚

6、双级旋片真空泵

7 、PC 控制软件